转采于2021-12-10 13:54:50
PVD PVD是英文Physical Vapor Deposition(物理气相沉积)的缩写,是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。PVD后制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。
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